ULVAC愛發(fā)科精品分析/測量電離真空計

ULVAC愛發(fā)科精品分析/測量電離真空計
可連接不同測量范圍的探頭：多離子計允許根據(jù)應用選擇探頭。
緊湊：明顯小于傳統(tǒng)產(chǎn)品（控制器體積減少 56%），
提高可用性：可通過 PC/智能手機連接進行設定點設置、狀態(tài)確認等
產(chǎn)品陣容豐富：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）。

產(chǎn)品型號：ST200-A
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-04-27
訪問量：205

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用途

用于有機EL、觸摸屏等制造設備的極限壓力確認和工序管理。
用于檢查真空爐等各種工業(yè)真空設備的極限壓力。
用于在含有大量碳氫化合物（油基）的大氣中進行測量
用于在真空零件加工過程中殘留有切削油或清洗液的環(huán)境中進行測量。
適用于旨在減少更換真空計探頭頻率的真空設備。

*在腐蝕性氣體（鹵素氣體）氣氛中使用時，請與我們聯(lián)系。

特征

可連接不同測量范圍的探頭：多離子計允許根據(jù)應用選擇探頭。
緊湊：明顯小于傳統(tǒng)產(chǎn)品（控制器體積減少 56%），
提高可用性：可通過 PC/智能手機連接進行設定點設置、狀態(tài)確認等
產(chǎn)品陣容豐富：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）。
三極管型金屬電離真空計：真空計即使在惡劣環(huán)境下也能實現(xiàn)長壽命。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)控燈絲功率，可以提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣：可測量大氣壓至高真空范圍（1×10 ⁺⁵～ 1×10 ^{-5 Pa）（連接選購件SWU10-R時）}
精確的大氣壓力測量：可以檢查腔室開口的大氣壓力（當連接可選單元 SAU 時）

規(guī)格

模型		ST200-A	ST200-R	ST200-E（預定發(fā)布）
規(guī)格		標準規(guī)格	串行通訊規(guī)格	EtherCAT規(guī)格
適應性強的多離子規(guī)傳感器		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可連接的傳感器		多離子壓力傳感器：1 件皮拉尼壓力計 SWU10-R：1 件（可選）大氣壓力傳感器 SAU：1 件（可選）
重復性（N ₂）		ST200單模：±2%
采樣時間		60ms 5次移動平均處理
測量值輸出		輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新時間		60毫秒
控制輸入信號		FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 采用集電極開路輸入、負邏輯操作	-	-
控制輸出信號		傳感器錯誤、設定值 1/2/3、發(fā)射有效、燈絲功率監(jiān)控額定值：_最大24V 、_最大50mA 、飽和電壓 1V	-	-
串行通訊規(guī)格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED表示		POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
發(fā)射電流		2mA（1×10 ^-2 Pa以下）、10μA（1×10 ^-2 Pa以上）
脫氣		電子轟擊法，發(fā)射電流2mA，柵極電壓約330V
傳感器耐壓		2×10 ⁺ 5Pa（絕對壓力） * 必須單獨考慮法蘭、卡箍等的耐壓性能。
傳感器內(nèi)容積		17厘米³（SWT-16）、19厘米³（SWT-25）
工作溫度限制		10～50℃
工作濕度范圍		15 至 80%（無冷凝）
保管溫度		-20～65℃（不通電時不結(jié)露）
IP保護等級		IP30
電源電壓		DC20~28V（紋波、噪聲1%以下） 8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub15針（M2.6螺絲）
質(zhì)量		控制器：約 280g 測頭（SWT-16、SWT-25）：80g
外形尺寸寬×深×高		69mm×63mm×90mm（控制器部分）
兼容標準		這
選項	多離子計傳感器	SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質(zhì)：燈絲：Ir/Y ₂ O ₃涂層其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni 鍍層
	皮拉尼壓力計	SWU10-R *也兼容傳統(tǒng)SPU
	皮拉尼壓力傳感器	SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì)：燈絲 - Pt、其他 - BS/Ni、電鍍、Ni、焊料
	大氣壓力傳感器	SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
	顯示單元	1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
	顯示單元電纜	SH200至顯示單元電纜 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他的	檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書

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