ULVAC愛發(fā)科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀

ULVAC愛發(fā)科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀

可以進行映射測量的自動臺型

UNECS系列是一種分光橢偏儀，可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。采用測量方法，實現(xiàn)高速測量和緊湊化。我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，以適應(yīng)不同的應(yīng)用，包括便攜式類型、自動平臺類型和與真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。

UNECS-1500A/2000A/3000A采用自動R-θ平臺和自動對焦功能，可快速自動測量基材表面內(nèi)的膜厚分布，并將結(jié)果顯示在彩色圖上。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量

特征

高速測量：

采用快照方式，實現(xiàn)了最高速度20ms的高速測量。

兼容可見光譜：

波長范圍可選擇標準型（530nm~750nm）和可見光譜型（380nm~760nm）。

緊湊的傳感器單元：

光發(fā)射/接收傳感器僅由光學(xué)元件組成，沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，并且非常輕便和緊湊，并且不需要定期維護。

豐富的產(chǎn)品陣容：

我們擁有可適應(yīng)各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容，包括便攜式類型、手動/自動平臺類型、大型基板類型以及與大氣/真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。

規(guī)格