安川變頻器應用于半導體真空泵行業(yè)

更新時間：2024-06-20

瀏覽次數(shù)：277

半導體是指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。我們?nèi)粘Ｉ钪械碾娮赢a(chǎn)品，如計算機、等當中的核心單元都和半導體有著極為密切的聯(lián)系。

在半導體制造的多個工藝環(huán)節(jié)中，包括刻蝕、鍍膜等等。為了提高半導體制造過程的精度和均勻性，半導體工藝必須在極度受控的真空環(huán)境中運行。而獲得真空環(huán)境所需的設備即為真空泵。

今天要給大家介紹的是安川變頻器產(chǎn)品在真空泵設備中的應用。

半導體用干式真空泵設備

半導體成膜工藝

半導體用真空泵一般容易存在啟動、加速響應慢，抽速不夠穩(wěn)定；運行效率不高；開放大氣時易發(fā)生過載、過流故障而停機；面對雷雨季節(jié)及供電環(huán)境不好時，易因瞬時停電或電壓暫降而造成真空泵停機，造成半導體生產(chǎn)損失。

采用安川變頻器后設備的特性

1.穩(wěn)定性

高響應性，抗沖擊負載能力強，使真空泵穩(wěn)定運行。

2.高啟動轉矩

轉矩極限可根據(jù)速度切換，使泵在啟動及加速過程更快，更穩(wěn)定。

3.高效性

應對半導體不同工藝，通過專用功能，防止過載前提下保證真空泵高效運行。

4.節(jié)能

可高效、穩(wěn)定驅(qū)動配置PM電機的真空泵，更加節(jié)能。

5.高信賴性

即使發(fā)生瞬時停電或電壓暫降，可使真空泵保持輸出，電壓恢復后繼續(xù)運行。

安川變頻器在國內(nèi)外的真空泵設備上廣泛應用，業(yè)內(nèi)度高。能夠使半導體用真空泵在不同的半導體工藝下，穩(wěn)定、高效運行，滿足客戶需求。

真人一进一出120秒试看_欲帝精品导航_尹人香蕉久久99天天拍_孕妇奶水仑乱A级毛片免费看_亚洲国产精品无码中文字视